真空電弧爐是氣體的一種弧光放電。氣體放電顯示極之間的電壓很低，但通過氣體的電流非常大，有一個耀眼的白色的光，和弧區溫度很高（約5000K）。大電流密度來自陰極的熱電子發射和電子的自發射，即陰極附近有一個正離子層，形成強電場，使陰極能自動發射電子。大量的電子與兩極間的氣體分子發生碰撞，產生更多的正離子和兩個電子。在電場作用下，真空電弧爐的分別擊中陰極和陽極，導致高溫。由于電子發射，陰極部分能量，所以溫度低于陽極。高溫也是由一些正離子和電子在極中的放熱化合物生成的。

真空電弧爐是用這種原理熔化金屬的工業爐。在真空環境下，電弧爐是真空電弧爐，真空電弧爐熔煉采用大電流、低電壓，屬于短電弧運行。一般的電弧電壓為22～65V，和弧長為20 ~ 50mm（后者是大錠）。自從1839次熔化的金金線成功以來，在未來一百年里，對難熔金屬的熔化進行了研究。1953工業用真空電弧爐。直到1956，真空電弧爐在美國和歐洲的許多國家仍然不熔化爐和熔化爐采用1955鋼熔煉鈦。1960，自耗爐生產錠的重量已超過30噸，其規模已開始。目前，這種情況的發展可以由美國真空耗材爐Zach Kang公司為代表。為提高設備的生產率和利用率，兩臺爐子共用一套主電源、真空系統和自動控制系統。
真空電弧爐的熱處理可以提高工件和模具的使用壽命。無氧化、無碳脫除、表面光亮、變形小、節能、無污染，改變機械和冶金性能。
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